真空熱處理工藝一般包括加熱、保溫、冷卻三個過程，有時只有加熱和冷卻兩個過程。這些過程互相銜接，不可間斷。

　　加熱是真空熱處理的重要工序之一。金屬真空熱處理的加熱辦法許多，是選用木炭和煤作為熱源，然后應用液體和氣體燃料。電的應用使加熱易于控制，且無環(huán)境污染。使用這些熱源能夠直接加熱，也能夠經(jīng)過熔融的鹽或金屬，以至起浮粒子進行間接加熱。

　　金屬加熱時，工件暴露在空氣中，常常發(fā)作氧化、脫碳(即鋼鐵零件表面碳含量下降)，這對于真空熱處理后零件的表面性能有很晦氣的影響。因此金屬一般應在可控氣氛或維護氣氛中、熔融鹽中和真空中加熱，也可用涂料或包裝辦法進行維護加熱。

　　高真空燒結(jié)爐加熱溫度是真空熱處理工藝的重要工藝參數(shù)之一，挑選和控制加熱溫度,是確保真空熱處理質(zhì)量的首要問題。加熱溫度隨被處理的金屬材料和真空熱處理的目的不同而異，但一般都是加熱到相變溫度以上，以獲得高溫安排。別的轉(zhuǎn)變需要必定的時刻，因此當金屬工件表面達到要求的加熱溫度時，還須在此溫度堅持必定時刻，使內(nèi)外溫度共同，使顯微安排轉(zhuǎn)變徹底，這段時刻稱為保溫時刻。選用高能密度加熱和表面真空熱處理時，加熱速度極快，一般就沒有保溫時刻，而化學真空熱處理的保溫時刻往往較長。

　　冷卻也是真空熱處理工藝過程中不可短少的過程，冷卻辦法因工藝不同而不同，首要是控制冷卻速度。一般退火的冷卻速度慢，正火的冷卻速度較快，淬火的冷卻速度更快。但還因鋼種不同而有不同的要求，例如空硬鋼就能夠用正火一樣的冷卻速度進行淬硬。

　　金屬真空熱處理工藝大體可分為全體真空熱處理、表面真空熱處理和化學真空熱處理三大類。依據(jù)加熱介質(zhì)、加熱溫度和冷卻辦法的不同，每一大類又可區(qū)分為若干不同的真空熱處理工藝。同一種金屬選用不同的真空熱處理工藝，可獲得不同的安排，然后具有不同的性能。鋼鐵是工業(yè)上應用廣泛的金屬，而且鋼鐵顯微安排也雜亂，因此鋼鐵真空熱處理工藝品種繁復。

　　1、加熱

　　加熱是真空熱處理的重要工序之一。金屬真空熱處理的加熱方法很多，早期是采用木炭和煤作為熱源，近而應用液體和氣體燃料。電的應用使加熱易于控制，且無環(huán)境污染。利用這些熱源可以直接加熱，也可以通過熔融的鹽或金，以至浮動粒子進行間接加熱。金屬加熱時，工件暴露在空氣中，常常發(fā)生氧化、脫碳(即鋼鐵零件表面碳含量降低)，這對于真空熱處理后零件的表面性能有很不利的影響。因而金屬通常應在可控氣氛或保護氣氛中、熔融鹽中和真空中加熱，也可用涂料或包裝方法進行保護加熱。

　　2、保溫

　　加熱溫度是真空熱處理工藝的重要工藝參數(shù)之一，選擇和控制加熱溫度，是保證真空熱處理質(zhì)量的主要問題。加熱溫度隨被處理的金屬材料和真空熱處理的目的不同而異，但一般都是加熱到相變溫度以上，以獲得高溫組織。另外轉(zhuǎn)變需要一定的時間，因此當金屬工件表面達到要求的加熱溫度時，還須在此溫度保持一定時間，使內(nèi)外溫度一致，使顯微組織轉(zhuǎn)變完全，這段時間稱為保溫時間。采用高能密度加熱和表面真空熱處理時，加熱速度極快，一般就沒有保溫時間，而化學真空熱處理的保溫時間往往較長。

　　3、冷卻

　　冷卻也是真空熱處理工藝過程中不可缺少的步驟，冷卻方法因工藝不同而不同，主要是控制冷卻速度。一般退火的冷卻速度較慢，正火的冷卻速度較快，淬火的冷卻速度更快。但還因鋼種不同而有不同的要求，例如空硬鋼就可以用正火一樣的冷卻速度進行淬硬。